目前在國內使用三菱交流伺服系統分三個系列：MR-ES、MR-J2S、MR-J3。
通常故障情況可由伺服驅動器上顯示代碼來初步判斷，以下是幾種常見的故障及其排查方法：

1、AL.E6 -伺服緊急停止。引起此故障的原因一般有兩個，一個是控制回路24V電源沒有接入，另一個是CN1口EMG和SG之間沒有接通。
2、AL.37-參數異常。內部參數亂，操作人員誤設參數或者驅動器受外部干擾導致。一般參數恢復成出廠值即可解決。
3、AL.16-編碼器故障。內部參數亂或編碼器線故障或電機編碼器故障。參數恢復出廠值或者更換線纜或者更換電機編碼器，若故障依舊，則驅動器底板損壞。
4、AL.20-編碼器故障。電機編碼器故障或線纜斷線、接頭松動等導致。更換編碼器線或伺服電機編碼器。MR-J3系列發生此故障時，還有一種可能是驅動器CPU接地線燒斷導致。
5、AL.30-再生制動異常。若剛通電就出現報警，則驅動器內部制動回路元件損壞。若在運行過程中出現，可檢查制動回路接線，必要時外配制動電阻。
6、AL.50、AL.51-過載。 檢查輸出U、V、W三相相序接線是否正確，伺服電機三相線圈燒壞或接地故障。監控伺服電機負載率是否長時間超過100%，伺服響應參數設置過高，產生共振等原因。
7、AL.E9-主回路斷開。檢查主回路電源是否接入，若正常則主模塊檢測回路故障，須更換驅動器或配件。
8、AL.52-誤差過大。 電機編碼器故障或驅動器輸出模塊回路元件損壞，通常油污較多的使用場合此故障較多。

另外簡單判斷伺服電機故障方法：去掉電機所有接線后，轉動電機軸承，如能感覺到明顯的阻力，轉動時不順暢，則機身線圈燒壞，另外裝配聯軸器不當時很容易把編碼器敲壞，可搖動電機編碼器部分，若能聽到編碼器碎片的聲音，則編碼器被敲壞。